标准锗烷/重庆硅烷气体批发/重庆凯益特种气体有限公司

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锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积，且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。
锗烷成分  电子等级 纯度最少99.999% (不包括乙锗烷和氢气)
二氧化碳0.2 ppm
半数致死浓度50 ppm

分子量
76.64
空气中的可燃度极限
自燃的
气体在1个标准大气压（空气=1）和70cF(21.1°C)温度下的比重
2.65
气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度
0.198lbs/ft3 (3.17g/l)
气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容
5.05ft3/lb (0.315l/g)
在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)气压的熔点
-266.6℉ (-165.9°C)
在1个标准大气压的沸点
-127℉ (-88.4°C)
临界温度
94.7℉ (34.8°C)
临界压力
805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar)
毒性

时间加权平均阈限值>
0.2 ppm
半数致死浓度
50 ppm


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