晶元检查显微镜/徕卡晶元检查显微镜/晶元检查显微镜DM12000M/茂鑫供

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徕卡DM12000M全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV, 倾斜紫外观察模式) 不单提升了分辨率还提高了检查12英寸(300毫米)硅片的产能。相当新的 LED 照明技术 一体化设计并整合在显微镜上. 低热辐射和机身内一体化技术确保了相当理想的机身外空气流动状态。

低能耗的节电设计大大延长了使用寿命,符合绿色环保的理念。一键式的操控设计使用户可以轻易地完成倍率转换和相关的照明和相衬效果。

为您带来的优势

LEICA DM8000M LEICA DM12000M 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件透射光检查照明专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。

两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。高反差，更高分辨率，更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式荧光分光镜模块 UV光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.12μm。

备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查近红外线观察附件标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。

包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的***检查自动线宽CD测量附件以亚像素技术实现高度精确的CD测量。