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由于催化剂的作用可在300—350℃的低温下将有机溶剂氧化分解,因此大大降低 了燃料费并且产生的NOx量非常少。其缺点是需对废气处理中易引起催化剂中毒的物质和粉尘进行前处理,另外,在催化燃烧装置中使用的热交换器换热效率较低,约 在50%。为了提高热效率,废气处理设备降低运行成本,美国于1975年开发出换热效率在90%以上的蓄热式燃烧装置。由于其运行费用的降低,因此,可用于治理中等浓 度有机废气。随后欧洲也开展了该项技术的开发。
对于排气温度较高的高浓度有机废气处理设备的治理,首先由美国于1950年开发成功以天然气为燃料的直接燃烧 技术。1965年日本与美国合作,将该项技术引入日本。该法需将有机废气加热到760℃,方可将有机溶剂氧化分解为无害的CO2和H2O,其缺点是燃料费 高,废气处理设备故在欧美等天然气便宜的地区应用广泛。后来人们开发出催化燃烧技术