提供上海进口真空镀膜机批发端品供

提供上海进口真空镀膜机批发端品供 

上海端品提供法国纯进口蒸镀设备，自动/手动操作可选。举例如下：

1           高真空镀膜系统腔室，数量：一个：

1.1          矩形双门蒸镀腔，集成在手套箱背部；

1.2          内部尺寸：380x380x500mm（宽x高x深），容积：72L；

1.3          腔体带有内外两个门，内部/外部带有手动关闭结构，材质：铝合金，镀镍，内部：带有滑门，可左右滑动，外部：外门可打开，从事服务和维护工作；

1.4          腔体材质：不锈钢；

1.5          腔体内部带有防护层，以便于拆除和清洁腔体；

1.6          前门带有DN100的观察窗；

1.7          中间有1个DN160 ISO-K高真空接口，周围布置14个基本高真空接口；

1.8          极限真空可达：<9x10^-7mbar；

2           高真空镀膜系统真空系统，数量：一套：

2.1          控制单元：西门子或者施耐德控制单元

2.2          操作面板：7’’以上彩色触摸屏，包含镀膜系统可视化操作界面和控制功能

2.3          1套高真空测量系统，测量范围：大气压到极限真空；

2.4          前级泵：旋片式真空油泵，抽速达12m³/h，带有油雾过滤器和气镇；

2.5          高真空分子泵：抽速685l/s（N2），包括控制系统；

3           高真空镀膜系统控制部分，数量：一套：

3.1          QCM传感器输入：4个；

3.2          频率范围：4到6 MHz；

3.3          频率分辨率：+/-0.03Hz在测量周期为0.10秒时；

3.4          频率稳定度：+/- 2ppm，0-50摄氏度；

3.5          测量/更新率：1至10 Hz；

3.6          速率显示精度：0.01埃/秒；

3.7          厚度显示分辨率：0.001 kAngstrom；

3.8          流程：100的进程，1000层，50个膜层；

3.9          4个共蒸膜层；

3.10       可实现共蒸控制；

3.11       接口：RS -232和USB标准；

3.12       包括Windows软件；

4           1个双热蒸发源：

4.1          两个热蒸发源结构；

4.2          等级：10V@200A=2KVA；

4.3          3个水冷高电压接头；

4.4          1个电源（变压器和控制器）；

5           1个单热蒸发源：

5.1          单个热蒸发源结构；

5.2          等级：10V@200A=2KVA；

5.3          2个水冷高电压接头；

5.4          1个电源（变压器和控制器）；

6           2个单有机蒸发源：

6.1          2套有电源控制的有机蒸发源

6.2          体积：2立方厘米

6.3          坩埚材质：氧化铝

6.4          温度范围：50℃至600℃

6.5          热电偶：K型

6.6          包含：源挡板

7           防交叉污染设计：用于隔离各蒸发源，避免各蒸发源的交叉污染，数量四套；

8           蒸发源挡板：电磁气动挡板，高度可调，数量：一个；

9           晶振探头：用于测量镀膜厚度，定位灵活，高度可调，水冷，含10个备用晶振片，数量：两个；

10       样品台挡板，电磁气动挡板用于保护基片免受非稳定蒸镀材料沉积，挡板高度可调节，数量：一个；

11       样品台，用于夹持蒸镀腔体内的基片， 基片台直径达150mm，衬底旋转速度可调（0-33 RPM），数量：一个。