真空泵系统

 

 

真空系统存在的泵的名词解释：

主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

 

前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

 

粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

 

维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

 

事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。

 

 

真空泵系统特点：

1、真空站的真空上、下限值，可通过真空表设定在0~-0.1Mpa之间，误差值在±10%。

2、真空站用储气罐根据用户要求制造，一般在0.1~3m3之间。真空站启动后，真空罐内真空度始终保持在设定的上、下限值之间。

3、配置真空泵采用品牌真空泵，可根据用气量相应配置型号。

4、控制方式：

A、单泵自动、手动控制。

B、双泵一开一备用或双泵分开单泵定时自动循环运行控制，或双泵同时联动运行自动控制。

5、真空负压站每台泵均配置带充气电磁止回阀一套，防止真空回油故障。

6、特殊行业可根据客户要求设计金属或粉尘过滤器，有效地保护真空获得设备。

 

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