日本新宇宙cosmos泵吸式半导体特气检漏仪XP-703D
- 更新时间：
- 2019-02-01
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- 厦门市欣锐仪器仪表有限责任公司
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详细信息
型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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