真空镀膜系统
- 产品价格：
- 40000
- 更新时间：
- 2018-04-26
- 点击关注：
- 163
- 产品型号：
- PNK100（1 x RH0100）
- 产品品牌：
- PRONOTEK，普诺克
- 供应商：
- 东莞市普诺克真空科技有限公司
- 联系人：
- 杨先生
- 手机：
- 13622664458
- 在线咨询：
276110430
- 传真：
- 0769-22026929
- 所在地区：
- 广东 东莞
- 地址：
- 广东省东莞市南城街道鸿福路102号汇成大厦607号
详细信息
东莞市普诺克真空科技有限公司一家专做真空设备的实体制造工厂！专业设计各行业真空镀膜系统应用，提供全面的解决方案，欢迎各行业客户来厂评估指导工作！咨询：0769-89784003
中央真空站优势：
1.涵盖众多小型真空消费者的需求
2.模块化设计，根据客户的具体流程定制
3.操作简单
4.节省空间的系统解决方案
5.投资回报率高，优良的性价比
6.节能功能
7.拥有成本低
8.由于缓冲体积循环时间减少（无限泵送速度效应）
9.完整的一站式系统，可随时运行
真空镀膜系统产品参数：
型号：PNK100（2 x RH0100）
抽速：200m3/h
极限压力：0.5（15）mbar
缓冲罐体：200L
电机功率：3.0x2Kw
尺寸：800×320×900mm
真空抽气接口尺寸数量：12×6
真空镀膜系统
真空镀膜系统
真空镀膜系统
降低真空镀膜系统漏气率的措施：
1.真空系统的结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
（1）尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
（2）抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。
（3）认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。
（4）打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。
（5）尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。
2.密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。
密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度最高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，要对静密封结构进行认真设计，以达到理想的效果。
对静密封结构的设计，主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽，其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面，而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时，为了消除残留气体，在存在残留气体处设计了贯通孔，使系统内部各处畅通无阻。
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